第262章 于是朝里有人好办事！（2 / 2）

比如120、150等型号是由投料量决定，80炉则是指主炉筒的直径大小。

从而为大直径的硅单晶的生产做好铺垫，作为科技情报所的所长他能肯定即使外国有也绝不会透露。

罗翔知道大直径硅单晶相对具有生产成本低，利用率高的特点，生产大直径硅单晶是半导体产业的发展方向。

与此同时，生产硅单晶的单晶炉也向着大型化和自动化方向发展。

其中坩埚旋转及升降机构是单晶炉重要组成部分，在拉制单晶过程中，工艺参数内需要给予坩埚一定的旋转速度。

这需要该机构提供旋转功能，随着拉制单晶的进行，硅液面在坩埚中的相对位置会逐渐降低。

这时需保证硅液面与热场的相对位置，这需要该机构提供升降功能。但目前常见的坩埚旋转及升降机构运行不够稳定。

对系统稳定性要求极高的半导体设备带来较大的干扰，一旦出现故障，对人身及设备会造成较大损害。

而且叶回舟在这张图就是一张**，很多外接都没有展现出来，抽着烟的罗翔就小心翼翼笑地说：

“你这张是**，那你剩下的详解图配套设施图你有没有设计！”

叶回舟眨巴眨巴眼睛，卧槽，高手啊！

高工就没想到那么多，估计是高工专业不对口，毕竟他是学光学的，能看得懂机加工图就够牛鼻子了。

**没有详解图和附图就搭建成不了体系。

就算图给泄露出去，一两年之内他都不用担心的，因为成不了体系的东西，就是废物。

叶回舟把军书包拉在膝盖上打开书包低了头伸手翻了翻，又拿出一个大的笔记本递了过去。

罗翔忙把烟放在烟灰缸上，接过笔记本从第1页翻了起来。

良久之后，把笔记本合上，手还是微微颤抖着。

罗翔罗所长压抑着自己激动的心，这个大笔记本是这个80式单晶炉详解图例，每一个部件还有什么详细介绍。

比如头一张，一个部件的详解，附近的名称“外置式吸杂加料装置。”

包括安全壳、吸杂罐和加料器，吸杂罐用于放入安全壳对单晶炉进行吸杂操作，加料器用于放入安全壳对单晶炉进行加料操作。

叶回舟专门用了两章把这个装置尺寸搭建详细的介绍！

如果按照这个笔记本上，把所有的配件装置生产出来的话，那么有可能兔子的晶体生产将跨入一个崭新的世界。

当他翻到第最后几页时看到一种小装置尤其重要，他就有一种把现在的单晶炉技改的想法。

当直拉法生长无错位单晶的设备要用到惰性气体（氮气、氦气为主)环境在生产制备过程中。

目前，厂里单晶炉制备过程中惰性气体一般在停炉后直接外排，无回收装置，造成了极大浪费，增加了生产成本且污染环境。

且停炉后一般是自然冷却后再取晶体，虽然操作简单，但自然冷却时间较长，降低了生产效率。

这种小装置，在收尾完成后停炉6个小时左右的时间进行拆炉，取出晶体，对炉内的挥发物进行清除，并用酒精擦洗。

快捷而又没有太大污染，生产效率直线提高啊！