第192章 光刻工厂？（2 / 2）

杨宗德指着这套磁流变抛光装置对张君正问道。

“我们确实有这方面的想法。”

张君正笑着说道：“我们的邱总认为用这种超精密磁流变抛光装置用来给晶圆抛光比化学抛光设备更有技术优势。”

说着，他看了一边的邱梦生一眼。

“是这样的。”

邱梦生此时兴奋地对杨宗德说道：“现阶段用来给晶圆平坦化抛光的化学抛光设备使用的化学抛光液非常复杂，所以晶圆清洗工艺也相当复杂，中间很容易造成晶圆的污染，也会造成晶圆亚表面损伤的情况。”

“目前我们在为这套磁流变抛光装置设计开发一种抛光力分布控制算法模型方面的研究课题，主要是要搞清楚抛光液和抛光轮对晶圆加工时形成正面压力和剪切力分布的具体情况。”

邱梦生开口说道：“把这些东西搞清楚了之后我们就会在晶圆生产线上导入这种设备和工艺流程。”

“邱总，你是世界顶尖的芯片制造科学家，你对张董设计构思的这种新型极紫外光光源系统是怎么看的？”

杨宗德此时开口问道。

“我认为这是一种前所未有的巨大技术创新。”

邱梦生一脸认真地说道：“这么一套大型光源系统装置研制成功后从装置当中导出数十条高品质的稳态微聚束光源，通过去相干和调谐处理后完全可以给光刻设备里面的晶圆提供百瓦级的曝光光源，到时候大不了给这些光刻机设备设计建造一个专用的工厂车间，整座晶圆工厂生产线厂房设施设计跟传统的晶圆生产线不一样而已。”

说到这里，他看了张君正一眼，继续说道：“张董的意思是利用这种粒子加速器装置为晶圆厂里面的众多光刻设备提供光源系统外还要为高能离子注入设备提供高能离子束用来加工制造芯片器件，我本人认为这是一种绝妙无伦的技术概念。”

“这种技术概念做出来后绝对会改写全球半导体产业的局面，会彻底让我们摆脱亚米利加国官府和这些国外半导体设备企业对我们国内的半导体产业的技术掣肘，那时候我们就可以进入半导体技术领域的自由王国了。”

邱梦生一脸郑重地说道。

“……”

杨宗德此时沉默了好几秒后才对张君正说道：“张董，你的这种技术概念应该早一点跟我说的，我们科学院方面可以跟你们一起来推动你的这种技术概念。”

张君正笑了笑说道：“杨院长，目前我们这边还是处于技术概念状态，等唐思德教授带领技术团队将这个技术概念变成理论样机系统造出来验证了这种理论模型后到时候科学院再参与进来也不迟。”

他提出来的这种技术概念关系着君正科技公司在半导体产业上几十年的战略发展技术发展方向，现阶段只是处于技术概念状态，他提出来肯定会遭到各种质疑，到时候就连科学院内部的这些科学家也未必所有人都会认可。

与其浪费口舌和时间，张君正让君正科技公司内部已经为这个技术概念准备了差不多十多亿的预研经费，等到理论样机出来后验证了这种技术概念后，到时候公司再往这里面投入更多资源将工程样机造出来进行各种测试。